研磨剤、研磨剤セット及び基体の研磨方法

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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：長谷川芳樹 , 清水義憲 , 古下智也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-500685
特許番号：特許第6044629号
出願日： 2013年02月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】水と、4価金属元素の水酸化物を含む砥粒と、グリセリン化合物と、を含有し、前記グリセリン化合物が、下記一般式(I)で表される化合物、及び、下記一般式(II)で表される化合物からなる群より選択される少なくとも一種である、研磨剤。 [式(I)中、mは3以上の整数である。] [式(II)中、nは2以上の整数を示し、R1、R2及び複数のR3は各々独立に水素原子、下記一般式(III)で示される基、又は、下記一般式(IV)で示される基を示す。但し、R1、R2及び複数のR3の全てが水素原子である場合を除く。] [式(III)中、pは1以上の整数を示す。] [式(IV)中、qは1以上の整数を示す。]

IPC (3件)：