特許
J-GLOBAL ID：201703007488868511
マイクロ波イオン源及びその運転方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
森下 賢樹
, 村田 雄祐
, 三木 友由
, 富所 輝観夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-103302
公開番号（公開出願番号）：特開2014-225355
特許番号：特許第6052792号
出願日： 2013年05月15日
公開日（公表日）： 2014年12月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 プラズマ室と、
前記プラズマ室の軸線上の少なくとも一部分に電子サイクロトロン共鳴条件を満たす共鳴磁場またはそれよりも高強度の軸方向磁場を発生させるための磁場発生器と、を備え、
前記磁場発生器は、ミラー磁場と非ミラー磁場とを切り替えるよう構成され、
前記ミラー磁場は、2つのピークをもつ軸方向磁場分布を有し、前記2つのピークの磁場強度は前記共鳴磁場より大きく、
前記非ミラー磁場は、1つのピークをもつ軸方向磁場分布を有し、前記1つのピークの磁場強度は前記共鳴磁場より大きいことを特徴とするマイクロ波イオン源。
IPC (2件)：
H01J 27/18 ( 200 6.01)
, H01J 37/08 ( 200 6.01)
