特許
J-GLOBAL ID：201703007959993850

研削装置

発明者：
吉田 真司

吉田 真司 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (5件)： 青木 宏義 ,  天田 昌行 ,  岡田 喜雅 ,  菅野 亨 ,  溝口 勉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-168207
公開番号（公開出願番号）：特開2015-036169
特許番号：特許第6113023号
出願日： 2013年08月13日
公開日（公表日）： 2015年02月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 板状ワークを保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持される板状ワークを研削する研削砥石を備えた研削手段と、該保持テーブルに接近および離反する方向に該研削手段を移動させる研削送り手段と、該保持テーブルが板状ワークを保持する保持面と該研削砥石が板状ワークに接触して研削する研削面との距離を測定する測定手段と、を備えた研削装置において、 該測定手段は、測定光を投光させる投光部と、該投光部から投光された該測定光を、該保持面に投光する第1の測定光と該研削面に投光する第2の測定光とに分割する分割器と、該分割器で分割された該第1の測定光が該保持面で反射される第1の反射光と、該第2の測定光が該研削面で反射される第2の反射光とを受光する受光部と、所定の間隔で離間する該保持面と該研削面との間に該分割器を挿入させる挿入手段と、を備え、 該挿入手段で該保持面と該研削面との間に挿入された該分割器に対し、該投光部から該測定光を投光させ、該受光部が該第1の反射光及び第2の反射光を受光し該保持面と該研削面との距離を測定可能にする研削装置。
IPC (2件)：
B24B 49/12 ( 200 6.01) ,  B24B 7/00 ( 200 6.01)
FI (2件)：
B24B 49/12 ,  B24B 7/00 Z
引用特許：
出願人引用 (4件)
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