特許
J-GLOBAL ID：200903084877398050
ウェーハの平面加工装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-117335
公開番号（公開出願番号）：特開平11-309666
出願日： 1998年04月27日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：
【要約】【課題】ウェーハの研削作業の効率を低下させることなく砥石若しくは研磨布の磨耗量を精度良く測定する。【解決手段】カップ型砥石54、64の磨耗量を投光器70と受光器72から成る非接触型の磨耗量測定器68で測定するようにしたので、カップ型砥石56、64ウェーハ26を研削する邪魔にならない位置に磨耗量測定器68を固定配置することができる。従って、リミットスイッチ3のような接触型の磨耗量測定器ように、測定のたびに磨耗量測定器68を測定位置に移動させたり、測定終了後に磨耗量測定器68を元の位置に移動させる必要がないので、研削効率を低下しないように測定することができる。
請求項（抜粋）：
ウェーハを保持したテーブルと、該ウェーハを加工する砥石若しくは研磨布とを相対的に近づく方向に移動させることにより、砥石若しくは研磨布とウェーハとを押し当てると共に、砥石若しくは研磨布とウェーハとを相対的に回転させてウェーハを加工するウェーハの平面加工装置において、前記砥石若しくは研磨布の磨耗量を測定する非接触型の測定手段を、前記加工の邪魔にならないように前記平面加工装置に固定配置したことを特徴とするウェーハの平面加工装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 37/00 Z
, B24B 49/12
