特許
J-GLOBAL ID：201703008095451011

固体撮像素子のクリーニング方法および放射線検出装置

発明者：
村野 孝訓

村野 孝訓 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


代理人 (2件)： 布施 行夫 ,  大渕 美千栄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-254300
公開番号（公開出願番号）：特開2017-118428
出願日： 2015年12月25日
公開日（公表日）： 2017年06月29日
要約：
【課題】容易に固体撮像素子の汚れを除去することができる固体撮像素子のクリーニング方法を提供する。【解決手段】本発明に係る固体撮像素子のクリーニング方法は、冷却して使用される固体撮像素子42のクリーニング方法であって、固体撮像素子42を加熱しつつ、固体撮像素子42を加熱することによって発生したガスを排気する工程を含む。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
冷却して使用される固体撮像素子のクリーニング方法であって、 前記固体撮像素子を加熱しつつ、前記固体撮像素子を加熱することによって発生したガスを排気する工程を含む、固体撮像素子のクリーニング方法。
IPC (4件)：
H04N 5/335 ,  G01N 23/207 ,  G01N 23/225 ,  H04N 5/225
FI (4件)：
H04N5/335 ,  G01N23/207 320 ,  G01N23/225 312 ,  H04N5/225 E
Fターム (21件)：
2G001AA03 ,  2G001BA05 ,  2G001CA01 ,  2G001DA09 ,  2G001EA01 ,  2G001JA06 ,  2G001KA01 ,  5C024AX14 ,  5C024CX41 ,  5C024CY44 ,  5C024GY01 ,  5C024GY31 ,  5C122DA13 ,  5C122DA17 ,  5C122EA02 ,  5C122EA03 ,  5C122EA36 ,  5C122EA58 ,  5C122FC01 ,  5C122FC02 ,  5C122HA84
引用特許：
審査官引用 (4件)
  • 半導体X線検出器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-185705   出願人：株式会社堀場製作所
  • 電子冷却型半導体X線検出器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-309887   出願人：株式会社島津製作所
  • 撮像装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-246447   出願人：株式会社ムサシノエンジニアリング
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