特許
J-GLOBAL ID:200903042150243882
電子冷却型半導体X線検出器
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
有近 紳志郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-309887
公開番号(公開出願番号):特開2008-128635
出願日: 2006年11月16日
公開日(公表日): 2008年06月05日
要約:
【課題】電子冷却型半導体X線検出器の真空度の経時的低下を遅くする。【解決手段】電子冷却型半導体X線検出器(100)の真空容器(7)内に吸着剤(9)を入れ、内部で放出されたり外部から侵入してくるガスを吸着させる。【効果】真空容器(7)の内部でガスが放出されたり、外部からガスが侵入してきても、吸着剤(9)により吸着されてしまうから、真空容器(7)の真空度の経時的低下を遅くすることが出来る。これにより、検出性能を長く良好に維持できる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
電子冷却のためのペルチェ素子とX線検出のための半導体センサ素子とを真空容器に収容した電子冷却型半導体X線検出器において、前記真空容器内に吸着剤を入れたことを特徴とする電子冷却型半導体X線検出器。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (10件):
2G088EE30
, 2G088FF02
, 2G088FF03
, 2G088FF15
, 2G088GG21
, 2G088GG23
, 2G088JJ09
, 2G088JJ10
, 2G088JJ37
, 2G088LL21
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
X線検出器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-128225
出願人:日本電子株式会社, 日本電子エンジニアリング株式会社
審査官引用 (5件)
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