液処理装置、液処理方法および記憶媒体

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：永井浩之 , 中村行孝 , 佐藤泰和 , 朝倉悟 , 森秀行 , 村田卓久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-238704
公開番号（公開出願番号）：特開2017-046017
出願日： 2016年12月08日
公開日（公表日）： 2017年03月02日
要約：

【課題】バルブから処理液がリークしていることを確実に検出することが可能な液処理装置を提供する。【解決手段】液処理装置10は、処理液タンク31a、31b、31cに接続された循環流路32a、32b、32cおよび配管68と、処理液をウエハWに供給する処理液供給ノズル45と、開状態の時に配管68に対して処理液を供給し、閉状態の時に配管68に対する処理液の供給を遮断する多連バルブ30と、予め決められた応答時間で流量の値を出力する流量計34とを備えている。制御部80は、ウエハWに処理液を供給する際、流量計34が測定した流量の値を第1の応答時間に基づいて判断し、多連バルブ30のリークを検知する際、流量計34が測定した流量の値を第2の応答時間に基づいて判断する。第2の応答時間は、第1の応答時間よりも長くなっている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

被処理体に処理液を供給することにより前記被処理体を処理する液処理装置において、処理液供給源に接続され、前記処理液供給源からの前記処理液を供給する供給経路と、前記供給経路に接続され、前記供給経路からの前記処理液を前記被処理体に供給するノズルと、前記供給経路に設けられ、開状態の時に前記供給経路に対して前記処理液を供給し、閉状態の時に前記供給経路に対する前記処理液の供給を遮断するバルブと、前記供給経路に設けられ、予め決められた応答時間で流量の値を出力する流量計と、前記流量計に接続され、前記流量計の応答時間が送信される制御部とを備え、前記制御部は、前記被処理体に前記処理液を供給する際、前記流量の値を第1の応答時間に基づいて判断し、前記制御部は、前記バルブのリークを検知する際、前記流量の値を第2の応答時間に基づいて判断し、前記第2の応答時間は、前記第1の応答時間よりも長いことを特徴とする液処理装置。

IPC (1件)：

H01L 21/304

FI (3件)：

H01L21/304 648K , H01L21/304 643A , H01L21/304 648G

Fターム (20件)：

5F157AB02 , 5F157AB14 , 5F157AB33 , 5F157AB48 , 5F157AB90 , 5F157AC26 , 5F157BB22 , 5F157BB44 , 5F157BC53 , 5F157CB03 , 5F157CB11 , 5F157CD05 , 5F157CD32 , 5F157CE32 , 5F157CF14 , 5F157CF42 , 5F157CF60 , 5F157DB02 , 5F157DC86 , 5F157DC90

引用特許：

出願人引用 (3件)

基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-278800 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
流量計
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-155730 出願人：愛知時計電機株式会社
流量計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-026051 出願人：松下電器産業株式会社

審査官引用 (3件)

基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-278800 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
流量計
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-155730 出願人：愛知時計電機株式会社
流量計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-026051 出願人：松下電器産業株式会社

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