特許
J-GLOBAL ID：201703009791200577
電子線検査装置及び電子線検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
アイ・ピー・ディー国際特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-121098
公開番号（公開出願番号）：特開2014-238982
特許番号：特許第6117625号
出願日： 2013年06月07日
公開日（公表日）： 2014年12月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 試料に電子線を照射する電子線照射部と、
前記電子線の照射方向に電界を生じさせる電界発生部と、
前記電子線の照射によって前記試料から放出され、前記電界によって加速された電子のエネルギーを分析するエネルギー分析部と、
前記エネルギーの分析結果に基づいて、前記電子が放出された部位において、前記電子線の照射方向の深さ位置を検出する検出部と、
を備えることを特徴とする、電子線検査装置。
IPC (4件)：
H01J 37/252 ( 200 6.01)
, H01J 37/244 ( 200 6.01)
, G01N 23/225 ( 200 6.01)
, H01L 21/66 ( 200 6.01)
H01J 37/252 Z
, H01J 37/244
, G01N 23/225 310
, H01L 21/66 H
