特許
J-GLOBAL ID:201703010028176701
エアーポケット検出方法およびシステム
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
鮫島 睦
, 言上 惠一
, 山尾 憲人
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-550325
特許番号:特許第6199893号
出願日: 2012年12月17日
請求項(抜粋):
【請求項1】 単結晶材料中においてエアーポケットを検出するために用いられる、コンピュータにより実行される方法であって、
複数のピクセルを含む複数のデータユニットを有するマトリックスを調製する工程であって、上記複数のデータユニットは、単結晶材料の目的の領域に関連するイメージデータを含む工程と、
処理装置により、上記マトリックスのデータユニットと、上記マトリックスの対応するデータユニットと、の差分を決定する工程であって、上記対応するデータユニットは、上記マトリックスについて第1のオペレーションにより規定される工程と、
上記処理装置により、上記マトリックスのデータユニットと、上記マトリックスの対応するデータユニットと、の差分に基づいて、第1のインデックス値を算出する工程であって、上記第1のインデックスを算出することが、上記対応するデータユニットの上記差分の二乗平均平方根を決定することを含む工程と、
上記第1のインデックス値と、予め決定された閾値と、に基づいて、上記単結晶材料中においてエアーポケットを特定する工程と、を備える方法。
IPC (3件):
G01N 21/956 ( 200 6.01)
, C30B 33/00 ( 200 6.01)
, G01N 21/88 ( 200 6.01)
FI (3件):
G01N 21/956 A
, C30B 33/00
, G01N 21/88 J
引用特許:
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