特許
J-GLOBAL ID：201703010113902357
検出装置の製造方法、検出装置及び検出システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
阿部 琢磨
, 黒岩 創吾
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-173961
公開番号（公開出願番号）：特開2014-033138
特許番号：特許第6053379号
出願日： 2012年08月06日
公開日（公表日）： 2014年02月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 検出装置の製造方法であって、
基板の上に、複数の信号配線と、前記複数の信号配線に電気的に接続された複数のスイッチ素子と、定電位が供給される定電位配線と、を形成する第1工程と、
前記定電位配線に電気的に接続されずに前記複数のスイッチ素子に電気的に接続され、前記複数のスイッチ素子の上に形成された複数の第1電極と、前記複数の第1電極の上に跨って形成された半導体層と、を含む複数の変換素子を形成し、各々が前記複数のスイッチ素子のうちの1つのスイッチ素子と前記複数の変換素子のうちの1つの変換素子とを含む複数の画素を形成する第2工程と、
前記複数の画素のうちの欠陥を有する画素の変換素子の第1電極と前記定電位配線とを電気的に接続する第3工程と、
を有する検出装置の製造方法。
IPC (7件)：
H01L 27/146 ( 200 6.01)
, H01L 27/144 ( 200 6.01)
, H01L 29/786 ( 200 6.01)
, H01L 21/336 ( 200 6.01)
, G01T 7/00 ( 200 6.01)
, H01L 31/08 ( 200 6.01)
, H04N 5/32 ( 200 6.01)
H01L 27/14 C
, H01L 27/14 K
, H01L 29/78 613 Z
, H01L 29/78 612 A
, G01T 7/00 A
, H01L 31/00 A
, H04N 5/32
