特許
J-GLOBAL ID：201703010176398489

振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体

発明者：
小幡 直久

小幡 直久 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-007913
公開番号（公開出願番号）：特開2014-138414
特許番号：特許第6179104号
出願日： 2013年01月18日
公開日（公表日）： 2014年07月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 厚み滑り振動する振動部を含む第1領域、および前記第1領域よりも厚みが厚い第2領域を含む基板と、 前記振動部の一方の主面に設けられ、前記厚み滑り振動の振動方向に沿っている第1電極外縁および第2電極外縁を含んでいる第1励振電極と、 前記振動部の他方の主面に設けられ、前記振動方向に沿っている第3電極外縁および第4電極外縁を含み、かつ、平面視で前記第1励振電極と重なるように配置されている第2励振電極と、 前記第1励振電極の前記第1電極外縁側から延出して前記第2領域の一方の主面まで引き出されている引出電極と、を含み、 平面視で、前記第1励振電極は、前記第2励振電極の範囲内に配置されており、 平面視で、前記第3電極外縁、前記第1電極外縁、前記第2電極外縁、および前記第4電極外縁はこの順番で並んでおり、かつ、前記第3電極外縁と前記第1電極外縁との距離は、前記第2電極外縁と前記第4電極外縁との距離よりも小さく、 前記基板の平面視にて、前記第1励振電極の面積をS1とし、前記第2励振電極と前記引出電極とが重なる部分の面積をS2としたとき、S2/S1≦0.1なる関係を満足することを特徴とする振動素子。
IPC (5件)：
H03H 9/19 ( 200 6.01) ,  H03H 9/02 ( 200 6.01) ,  H03B 5/32 ( 200 6.01) ,  H01L 41/09 ( 200 6.01) ,  H01L 41/18 ( 200 6.01)
FI (7件)：
H03H 9/19 F ,  H03H 9/19 D ,  H03H 9/02 K ,  H03B 5/32 H ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 A ,  H01L 41/08 L
引用特許：
審査官引用 (4件)
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