特許
J-GLOBAL ID：201303073067795909

圧電振動素子、圧電振動子、電子デバイス、及び電子機器

発明者：
石井 修

石井 修 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-125806
公開番号（公開出願番号）：特開2012-253630
出願日： 2011年06月03日
公開日（公表日）： 2012年12月20日
要約：
【課題】基本波で高周波、且つ小型であり、主振動のCI値が小さく、スプリアスのCI値比の大きな圧電振動素子を得る。【解決手段】圧電振動素子1は、薄肉の振動領域12、及び振動領域12の一辺を除いた三辺に沿って一体化されたコ字状の厚肉支持部を有する圧電基板10と、振動領域12の表面及び裏面に夫々配置された励振電極25a、25bと、リード電極27a、27bと、を備えている。厚肉支持部は、振動領域12を挟んで対向配置された第1の支持部14、及び第2の支持部16と、第1及び第2の支持部の基端部間を連設する第3の支持部18と、を備えている。第2の支持部14は、振動領域12の一辺に連設し第2の傾斜部14bと、第2の傾斜部14bの他端縁に連設する厚肉の第2の支持部本体14aと、を備え、第2の支持部14には、少なくとも一つの応力緩和用のスリット20が貫通形成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
矩形の振動領域、及び該振動領域と一体化された前記振動領域の厚みよりも厚い支持部を有する圧電基板と、 前記振動領域の表面及び裏面に夫々配置された励振電極と、 該各励振電極から前記支持部上に夫々延在して設けられたリード電極と、 を備えた圧電振動素子であって、 前記支持部は、 前記振動領域の四辺のうち1辺を開放する ように、 前記振動領域を挟んで対向配置された第1の支持部、及び第2の支持部と、 該第1及び第2の支持部の基端部間を連設する第3の支持部と、 を備え、 前記第2の支持部は、 前記振動領域の一辺に連設した一方の端縁から他方の端縁に向かって離間するにつれて厚みが増加する第2の傾斜部と、 該第2の傾斜部の前記他方の端縁に連設する第2の支持部本体と、を備え、 前記第2の支持部には、 少なくとも一つのスリットが設けられていることを特徴とする圧電振動素子。
IPC (6件)：
H03H 9/19 ,  H03H 9/02 ,  H03B 5/32 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22
FI (7件)：
H03H9/19 D ,  H03H9/02 K ,  H03B5/32 H ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/08 L ,  H01L41/22 Z
Fターム (35件)：
5J079AA04 ,  5J079BA39 ,  5J079BA43 ,  5J079BA44 ,  5J079FA01 ,  5J079FA21 ,  5J079FA24 ,  5J079FA26 ,  5J079HA03 ,  5J079HA06 ,  5J079HA07 ,  5J079HA09 ,  5J079HA14 ,  5J079HA22 ,  5J079HA25 ,  5J108AA01 ,  5J108BB03 ,  5J108CC04 ,  5J108CC09 ,  5J108CC10 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108EE18 ,  5J108FF02 ,  5J108FF07 ,  5J108FF11 ,  5J108GG03 ,  5J108GG16 ,  5J108GG17 ,  5J108KK01 ,  5J108MM11 ,  5J108NA02
引用特許：
審査官引用 (12件)
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