特許

J-GLOBAL ID：201703010211395374

ターボ分子ポンプ

発明者： 眞鍋 雅嗣
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-002537
公開番号（公開出願番号）：特開2014-134138
特許番号：特許第6119251号
出願日： 2013年01月10日
公開日（公表日）： 2014年07月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 外部装置から気体を吸気する吸気口および前記気体を排気する排気口を備えたポンプ容器と、 前記ポンプ容器内における前記吸気口と前記排気口との間に設けられ、モータにより駆動されるロータシャフトが一体的に形成されたロータ上部と、 前記ロータ上部の下面に接合され、繊維強化複合材料により形成されたロータ下部円筒部と、 前記ロータ下部円筒部の外方に設けられ、前記ロータ下部円筒部と共に排気部を構成するステータと、を備え、 前記ロータ下部円筒部の前記ロータ上部との接合部が、前記ロータ下部円筒部の下端部側よりも厚く形成されており、 前記ロータ下部円筒部は、前記ロータ上部との接合部より下方に肉厚均等部を備え、かつ、前記肉厚均等部の上部に、その厚さが、漸増するテーパ部を備える、ターボ分子ポンプ。

IPC (1件)：

F04D 19/04 ( 200 6.01)

FI (1件)：

F04D 19/04 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 複合分子ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-171026   出願人：株式会社大阪真空機器製作所, 日本複合材料株式会社
• ターボ分子ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-034029   出願人：株式会社荏原製作所
• 特開昭50-157973
  
• 特開昭50-073277