特許
J-GLOBAL ID：201703010256161587

センサ装置

発明者：
吉田 直記

吉田 直記 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について


代理人 (3件)： 矢作 和行 ,  野々部 泰平 ,  久保 貴則
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-124065
公開番号（公開出願番号）：特開2014-240821
特許番号：特許第6089986号
出願日： 2013年06月12日
公開日（公表日）： 2014年12月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 外力を静電容量に変換するセンサ部(10)と、 前記センサ部から出力された静電容量を電圧に変換するC-V変換部(41)と、を有するセンサ装置であって、 前記センサ部は、 固定電極(19)と、 前記外力の印加によって前記固定電極との対向間隔が変位可能とされた可動電極(20)と、 前記C-V変換部を検査する検査モード時において、前記固定電極と前記可動電極との間に静電引力を発生させることで前記可動電極を強制的に変位させ、前記固定電極と前記可動電極とによって構成される検出コンデンサの静電容量変化を前記C-V変換部に出力させる制御部(12)と、を有し、 前記C-V変換部は、 基準電圧源(43)と、 複数の電子素子から成り、前記センサ部の出力端子が接続される第1入力端子(44a)および前記基準電圧源の出力端子が接続される第2入力端子(44b)を有するアンプ(44)と、 前記アンプの第1入力端子と出力端子(44c)とを接続するメイン配線(45)と、 nを2以上の自然数とすると、前記メイン配線とともに、前記アンプの第1入力端子と出力端子との間にn本並列接続された並列配線(46)と、 前記メイン配線に設けられたメインスイッチ(47)と、 n本の前記並列配線それぞれに1つずつ設けられた複数の帰還容量コンデンサ(48)と、 複数の前記帰還容量コンデンサの間に設けられた複数のサブスイッチ(49)と、 前記メインスイッチおよび前記サブスイッチそれぞれの駆動を制御するスイッチ制御部(53)と、を有し、 前記スイッチ制御部は、複数の前記帰還容量コンデンサによって構成される静電容量が、前記外力を検出する通常モード時よりも前記検査モード時のほうが小さくなるように、複数の前記サブスイッチそれぞれの駆動を制御することで、前記アンプの出力を増大し、前記アンプを構成する複数の前記電子素子それぞれを飽和状態で動作させることを特徴とするセンサ装置。
IPC (2件)：
G01P 21/00 ( 200 6.01) ,  G01P 15/125 ( 200 6.01)
FI (2件)：
G01P 21/00 ,  G01P 15/125 V
引用特許：
出願人引用 (4件)
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