容量式物理量検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人ゆうあい特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-111139
公開番号（公開出願番号）：特開2012-242201
出願日： 2011年05月18日
公開日（公表日）： 2012年12月10日
要約：

【課題】検出範囲によらず、適切な自己診断を行うことのできる容量式物理量検出装置を提供する。【解決手段】可動部20と、可動部20の変位方向に対向して配置され、可動部20と共に第1容量部16a、16bを構成する第1固定部30、40と、可動部20の変位方向と垂直方向に対向して配置され、可動部20と共に第2容量部17を構成する第2固定部17とを備える。そして、自己診断時に、第1容量部16a、16bに第1変位信号を印加して第1容量部16a、16bで発生する静電気力によって可動部20を当該可動部20の変位方向に変位させ、第2容量部17に第2変位信号を印加して第2容量部17で発生する静電気力によって可動部20を垂直方向に変位させる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

物理量に応じて所定方向へ変位する可動部(20)と、前記可動部(20)に対向して配置され、前記可動部(20)と共に第1容量部(16a、16b)を構成する第1固定部(30、40)と、前記可動部(20)に対して前記所定方向と垂直方向に対向して配置され、前記可動部(20)と共に第2容量部(17)を構成する第2固定部(11、90)と、自己診断時には、前記第1容量部(16a、16b)に前記可動部(20)を変位させるための第1変位信号を印加すると共に前記第2容量部(17)に前記可動部(20)を変位させるための第2変位信号を印加した後、前記第1容量部(16a、16b)に当該第1容量部(16a、16b)の容量変化を検出するための検出信号を印加する自己診断信号印加手段(220)と、前記検出信号が前記第1容量部(16a、16b)に印加されているときに、前記第1容量部(16a、16b)の容量変化に応じた電圧を出力するC-V変換回路(210)と、を備え、前記可動部(20)は、前記第1容量部(16a、16b)に前記第1変位信号が印加されると前記第1容量部(16a、16b)で発生する静電気力によって前記所定方向に変位し、前記第2容量部(17)に前記第2変位信号が印加されると前記第2容量部(17)で発生する静電気力によって前記垂直方向に変位することを特徴とする容量式物理量検出装置。

IPC (4件)：

G01P 15/125 , H01L 29/84 , B81B 3/00 , G01P 21/00

FI (4件)：

G01P15/125 V , H01L29/84 Z , B81B3/00 , G01P21/00

Fターム (26件)：

3C081AA13 , 3C081BA07 , 3C081BA33 , 3C081BA44 , 3C081BA48 , 3C081BA53 , 3C081BA76 , 3C081EA02 , 4M112AA01 , 4M112AA02 , 4M112BA07 , 4M112CA21 , 4M112CA22 , 4M112CA24 , 4M112CA31 , 4M112CA33 , 4M112DA02 , 4M112DA08 , 4M112DA09 , 4M112DA18 , 4M112EA03 , 4M112EA06 , 4M112EA11 , 4M112FA20 , 4M112GA01 , 4M112GA03

引用特許：

審査官引用 (8件)

物理量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-247768 出願人：株式会社デンソー
容量式物理量検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-272585 出願人：株式会社デンソー
デジタル加速度計および加速度検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-136423 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド

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