特許

J-GLOBAL ID：201703010555395144

フォトデバイス検査装置およびフォトデバイス検査方法

発明者： 中西 英俊 ,  伊藤 明 ,  斗内 政吉 ,  川山 巌
出願人/特許権者： 株式会社SCREENホールディングス ,  国立大学法人大阪大学
代理人 (2件)： 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-055931
公開番号（公開出願番号）：特開2014-181975
特許番号：特許第6161059号
出願日： 2013年03月19日
公開日（公表日）： 2014年09月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 フォトデバイスを検査するフォトデバイス検査装置であって、 フォトデバイスに検査用パルス光を照射することによって、電磁波を放射させる照射部と、 前記検査用パルス光の照射に応じて前記フォトデバイスから放射された前記電磁波を偏光する、平行に延びる複数のワイヤー部で構成されるワイヤグリッド偏光素子である偏光素子と、 前記偏光素子によって偏光された前記電磁波を検出する検出部と、 前記偏光素子を前記ワイヤー部が延びる方向に垂直な軸周りに回転駆動することによって、前記偏光素子が前記電磁波を偏光する方向を変更する偏光素子駆動機構と、 前記検査用パルス光が照射される前記フォトデバイスの表面に対して交差する方向に延びる軸を回転軸として、前記フォトデバイスを回転可能に支持する支持機構と、 を備え、 前記支持機構は、前記フォトデバイスを前記回転軸周りに90度回転させる、フォトデバイス検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/64 ( 200 6.01) ,  H02S 50/15 ( 201 4.01)

FI (2件)：

G01N 21/64 A ,  H02S 50/15

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 検査装置および検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-155665   出願人：大日本スクリーン製造株式会社, 国立大学法人大阪大学
• 半導体デバイスの故障診断方法と装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-202019   出願人：独立行政法人理化学研究所, NECエレクトロニクス株式会社