特許
J-GLOBAL ID：201703010753341700

テラヘルツ領域の電磁放射線のボロメータ検出器および同検出器を含む検出器アレイデバイス

発明者：
ジャン-ルイ・オブリエール-ビュッフェ

ジャン-ルイ・オブリエール-ビュッフェ について

, 
ジェローム・メイアン

ジェローム・メイアン について

, 
デュイ・ソン・ングイエン

デュイ・ソン・ングイエン について

, 
フランソワ・シモン

フランソワ・シモン について


出願人/特許権者：
コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ

コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ について


代理人 (4件)： 村山 靖彦 ,  志賀 正武 ,  渡邊 隆 ,  実広 信哉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-259569
公開番号（公開出願番号）：特開2013-152213
特許番号：特許第6084018号
出願日： 2012年11月28日
公開日（公表日）： 2013年08月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 テラヘルツ波長領域の電磁放射線のボロメータ検出器であって、 前記電磁放射線を反射する組立体(104、130、132)を含む支持体(102)と、 支持体(108)および断熱パッド(112)により前記反射組立体(104、130、132)上に懸吊された少なくとも1つのボロメータマイクロブリッジ(106)であって、 前記電磁放射線を収集することを目的とする第1のボウタイアンテナ(118)、 前記収集された電磁出力を熱出力に変換するために前記アンテナ(118)と結合する抵抗性負荷(116)、および 発生した前記熱出力の効果の下で加熱するために前記抵抗性負荷(116)と結合する温度測定素子(128) を含むボロメータマイクロブリッジ(106)と を含む、ボロメータ検出器において、前記反射組立体(104、130、132)は、 前記電磁放射線を反射する層(132)と、 前記反射層(132)上に形成される絶縁材料層(130)と、 前記マイクロブリッジ(106)のレベルで、検出すべき入射放射線と、前記反射組立体(104、130、132)により反射される放射線との間の干渉による強め合いを得るために、前記絶縁材料層(130)の厚さおよび誘電率、ならびにアレイ(104)のピッチおよび充填率が選択される、前記絶縁材料層(130)上に形成される金属パターンの周期的なアレイ(104)と を含むことを特徴とする、ボロメータ検出器。
IPC (1件)：
G01J 1/02 ( 200 6.01)
FI (1件)：
G01J 1/02 C
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM