特許
J-GLOBAL ID：201003021958870250
赤外からテラヘルツ周波数帯域の電磁放射を検出するボロメータ検出器、およびかかる検出器を備えたアレイ検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
古谷 栄男
, 松下 正
, 鶴本 祥文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-076806
公開番号（公開出願番号）：特開2010-261935
出願日： 2010年03月30日
公開日（公表日）： 2010年11月18日
要約：
【課題】放射を受信するアンテナ機能と、受信した電磁力を熱量に変換する変換機能および熱測定機能を分離したボロメータ検出器。【解決手段】ボロメータ検出器は以下を備えている:電磁放射を収集するための第1および第2の交差ボウタイアンテナ(54、68)と;サポートと熱的分離アーム(62)とによって基板(52)の上に支持されるボロメータマイクロブリッジ構造(56)であって:収集された電磁力を熱量に変換するため前記アンテナ(54、68)に結合される抵抗負荷と;生成された熱量によって温度上昇可能に抵抗負荷に結合される熱測定素子。第1アンテナ(54)はマイクロブリッジ(56)の外側にあって抵抗負荷と容量性結合し、第2アンテナはマイクロブリッジ(56)の中にあって抵抗負荷と抵抗結合している。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
赤外からテラヘルツ周波数帯域の電磁放射を検出するボロメータ検出器であって:
電磁放射を収集するための第1および第2の交差ボウタイアンテナ(54、68)と;
収集された電磁力を熱量に変換するため前記アンテナ(54、68)に結合される抵抗負荷(66)と;
サポートと熱的分離アーム(62)とによって基板(52)の上に支持されるボロメータマイクロブリッジ構造(56)であって:
前記抵抗負荷(66)と;
生成された熱量によって温度上昇可能に抵抗負荷(66)に結合される熱測定素子(78)と;を備える、ボロメータマイクロブリッジ構造と;を備え、
第1アンテナ(54)がマイクロブリッジ(56)の外側にあって抵抗負荷(66)と容量性結合し、第2アンテナ(68)がマイクロブリッジ(56)の中にあって抵抗負荷(66)と抵抗結合することを特徴とする、
ボロメータ検出器。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
2G065AA04
, 2G065AB02
, 2G065AB03
, 2G065BA12
, 2G065BA40
, 2G065CA13
