特許
J-GLOBAL ID：201703010811412108

形状測定装置

発明者：
酒井 陽平

酒井 陽平 について

, 
池田 隆

池田 隆 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (2件)： 近島 一夫 ,  大田 隆史
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-122976
公開番号（公開出願番号）：特開2013-250074
特許番号：特許第6080389号
出願日： 2012年05月30日
公開日（公表日）： 2013年12月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被測定物の表面の形状を測定する形状測定装置において、 前記被測定物の表面を走査するプローブと、 前記被測定物を支持する第1ステージ部と、 前記プローブを支持する第2ステージ部と、 前記第1ステージ部及び前記第2ステージ部のうち少なくとも一方を駆動して、前記プローブを前記被測定物の表面に対して相対的に走査させる駆動部と、 前記駆動部の回転位置を検出するエンコーダと、 前記第1ステージ部に支持され、基準面を有する基準構造物と、 前記基準構造物の基準面に対する前記プローブの走査方向の距離を測定する測定部と、 第2座標系を基準とした前記プローブの前記走査方向の目標位置座標を設定する目標座標設定部と、 前記目標座標設定部で設定された第2座標系を基準とした前記目標位置座標に対して、前記基準構造物の直交度誤差を補正する直交度補正をして、前記基準構造物で規定される第1座標系を基準とするように座標変換して出力する座標変換部と、 前記測定部の測定結果に基づき、前記プローブの前記基準面に対する傾き量を補正するピッチング補正を行い、前記第1座標系を基準とした前記プローブの位置座標を求める位置座標演算部と、 前記座標変換部の出力から前記位置座標演算部の出力を減算して出力する第一の減算部と、 前記第一の減算部の出力に基づき第一の指令値を生成して出力する第一位置制御部と、 前記第一の指令値から前記エンコーダの出力を減算して出力する第二の減算部と、 前記第二の減算部の出力に基づき前記駆動部を駆動するための第二の指令値を生成して出力する第二位置制御部と、 を備えたことを特徴とする形状測定装置。
IPC (3件)：
G01B 21/00 ( 200 6.01) ,  G01B 21/20 ( 200 6.01) ,  G01B 11/00 ( 200 6.01)
FI (3件)：
G01B 21/00 G ,  G01B 21/20 C ,  G01B 11/00 A
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM