特許
J-GLOBAL ID:201703010818891648

半導体装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 日向寺 雅彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-223872
公開番号(公開出願番号):特開2017-092378
出願日: 2015年11月16日
公開日(公表日): 2017年05月25日
要約:
【課題】オン抵抗を低減できる半導体装置を提供する。【解決手段】実施形態に係る半導体装置は、第1電極と、第1導電形の第1半導体領域と、第2導電形の第2半導体領域と、第1導電形の第3半導体領域と、第2導電形の第4半導体領域と、第2導電形の第5半導体領域と、絶縁部と、第1導電形の第6半導体領域と、第2導電形の第7半導体領域と、ゲート電極と、ゲート絶縁層と、第2電極と、第3電極と、を有する。前記絶縁部は、前記第2半導体領域と前記第5半導体領域との間および前記第3半導体領域と前記第5半導体領域との間に設けられている。前記第2電極は、前記第7半導体領域の上に設けられ、前記第7半導体領域と電気的に接続されている。前記第3電極は、前記第3半導体領域の上に設けられ、前記第3半導体領域および前記ゲート電極と電気的に接続されている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
第1電極と、 前記第1電極の一部の上に設けられた第1導電形の第1半導体領域と、 前記第1半導体領域の上に設けられた第2導電形の第2半導体領域と、 前記第2半導体領域の上に設けられた第1導電形の第3半導体領域と、 少なくとも一部が前記第1電極の他の一部の上に設けられた第2導電形の第4半導体領域と、 前記第4半導体領域の上に設けられた第2導電形の第5半導体領域と、 前記第2半導体領域と前記第5半導体領域との間および前記第3半導体領域と前記第5半導体領域との間に設けられた絶縁部と、 前記第5半導体領域の上に設けられた第1導電形の第6半導体領域と、 前記第6半導体領域の上に選択的に設けられた第2導電形の第7半導体領域と、 ゲート電極と、 前記ゲート電極と、前記第5半導体領域、前記第6半導体領域、および前記第7半導体領域のそれぞれと、の間に設けられたゲート絶縁層と、 前記第7半導体領域の上に設けられ、前記第7半導体領域と電気的に接続された第2電極と、 前記第3半導体領域の上に設けられ、前記第3半導体領域および前記ゲート電極と電気的に接続された第3電極と、 を備えた半導体装置。
IPC (4件):
H01L 29/78 ,  H01L 29/06 ,  H01L 29/12 ,  H01L 29/786
FI (13件):
H01L29/78 652H ,  H01L29/78 652K ,  H01L29/78 653A ,  H01L29/78 652N ,  H01L29/78 652P ,  H01L29/06 301D ,  H01L29/06 301F ,  H01L29/06 301V ,  H01L29/06 301G ,  H01L29/06 301M ,  H01L29/78 652T ,  H01L29/78 652J ,  H01L29/78 626A
Fターム (16件):
5F110AA07 ,  5F110BB12 ,  5F110CC02 ,  5F110CC09 ,  5F110DD01 ,  5F110DD05 ,  5F110EE09 ,  5F110FF02 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG04 ,  5F110GG32 ,  5F110GG36 ,  5F110GG52 ,  5F110HK03 ,  5F110HM12
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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