特許
J-GLOBAL ID：201703010900166544
カラーフィルタ基板及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
村山 靖彦
, 渡邊 隆
, 実広 信哉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-115747
公開番号（公開出願番号）：特開2012-242840
特許番号：特許第6172895号
出願日： 2012年05月21日
公開日（公表日）： 2012年12月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第一の主表面及び前記第一の主表面と対向する第二の主表面とを有する透明ベース基板を用意する工程と、
前記透明ベース基板の第一の主表面上にカラーフィルム層を形成し、前記透明ベース基板の第二の主表面側に設けられるマスクを介して前記透明ベース基板の第二の主表面側から光を照射することで前記カラーフィルム層を露光し、互いに間隔がある複数のカラーフィルム層パターンを形成するように露光後のカラーフィルム層をエッチングする工程であって、前記カラーフィルム層パターンの、前記透明ベース基板に垂直する方向に沿う断面が、逆立ちの二等辺台形の形状をなす工程と、
前記複数のカラーフィルム層パターンの間の間隔でブラックマトリックスを形成し、前記ブラックマトリックスを前記複数のカラーフィルム層パターンの間の間隔を完全に充填させる工程と、を備え、
前記ブラックマトリックスを形成する工程は、
前記複数のカラーフィルム層パターンが形成されたベース基板の第一の主表面上にブラックマトリックスを形成するための膜層を形成し、前記複数のカラーフィルム層パターンをマスクとして前記透明ベース基板の第二の主表面側から光を照射することで前記ブラックマトリックスを形成するための膜層を露光し、前記ブラックマトリックスを形成するように露光後の前記ブラックマトリックスを形成するための膜層をエッチングするステップを含むことを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
IPC (2件)：
G02B 5/20 ( 200 6.01)
, G02F 1/1335 ( 200 6.01)
G02B 5/20 101
, G02F 1/133 505
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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