基板搬送経路の決定方法、基板搬送装置、基板処理装置及びプログラム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：別役重尚 , 村松聡
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-041699
公開番号（公開出願番号）：特開2014-170828
特許番号：特許第6063776号
出願日： 2013年03月04日
公開日（公表日）： 2014年09月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板搬送ロボットの基板保持部に保持された基板を搬送するために前記基板保持部を所定の始点から終点へと移動させる際の基板搬送経路の決定方法であって、前記基板搬送経路は、前記始点を通る第1の直線の軌道を定め、前記第1の直線と接する円弧の軌道を算出し、前記円弧に接すると共に前記終点を通る第2の直線を算出し、その後に前記終点の位置が変更された場合には、前記円弧の半径を変化させずに前記変更された終点を通ると共に前記円弧と接する直線を前記第2の直線として再算出し、前記基板保持部の中心を、前記第1の直線上を移動させた後に前記第1の直線と前記円弧との接点からは前記円弧上を移動させ、続いて、前記円弧と前記第2の直線との接点からは前記第2の直線上を移動させて前記終点へ到達させるように決定されることを特徴とする基板搬送経路の決定方法。

IPC (2件)：

H01L 21/677 ( 200 6.01) , H01L 21/68 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/68 A , H01L 21/68 F

引用特許：

審査官引用 (5件)

基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-050039 出願人：株式会社アルバック
特開平4-123204
多自由度を有するロボット
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-563442 出願人：ジェンマーク・オートメーション・インコーポレーテッド

全件表示

前のページに戻る