特許

J-GLOBAL ID：201703011092955451

超伝導酸化物薄膜およびその製造方法

発明者： 吉松 公平 ,  大友 明
出願人/特許権者： 国立大学法人東京工業大学
代理人 (7件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  蛯谷 厚志 ,  小林 良博 ,  田崎 豪治 ,  出野 知
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-162168
公開番号（公開出願番号）：特開2017-039621
出願日： 2015年08月19日
公開日（公表日）： 2017年02月23日
要約：

【課題】単純Ti酸化物からなる超伝導酸化物薄膜、好適にはTiOの2.3Kを超えるTcを有する単純Ti酸化物からなる超伝導酸化物薄膜を提供することを目的とする。【解決手段】化学式 TiOX(1<x<2)で表され、超伝導電気伝導性を有する酸化物からなる超伝導酸化物薄膜。好適には、パルスレーザー堆積法により、化学式TiOX(1<x<2)で表され、超伝導電気伝導性を有する酸化物を基板上に堆積することにより得られる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

化学式 TiOX(1<x<2)で表され、超伝導電気伝導性を有する酸化物からなる超伝導酸化物薄膜。

IPC (6件)：

C01G 1/00 ,  H01B 12/06 ,  H01B 13/00 ,  C01G 23/04 ,  C23C 14/08 ,  H01L 39/24

FI (6件)：

C01G1/00 S ,  H01B12/06 ,  H01B13/00 565D ,  C01G23/04 C ,  C23C14/08 L ,  H01L39/24 C

Fターム (30件)：

4G047CA02 ,  4G047CB04 ,  4G047CC03 ,  4G047CD02 ,  4G047CD07 ,  4G047JA04 ,  4G047JC16 ,  4G047KE02 ,  4G047KG01 ,  4K029AA04 ,  4K029AA07 ,  4K029AA24 ,  4K029BA48 ,  4K029BB07 ,  4K029BC04 ,  4K029CA01 ,  4K029DB05 ,  4K029DB20 ,  4M113AA16 ,  4M113AA25 ,  4M113AD36 ,  4M113BA11 ,  4M113BB03 ,  4M113BB19 ,  4M113BC26 ,  4M113CA31 ,  5G321AA01 ,  5G321BA08 ,  5G321CA24 ,  5G321DB37