特許

J-GLOBAL ID：201703011092955451

超伝導酸化物薄膜およびその製造方法

発明者： 吉松 公平 ,  大友 明
出願人/特許権者： 国立大学法人東京工業大学
代理人 (7件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  蛯谷 厚志 ,  小林 良博 ,  田崎 豪治 ,  出野 知
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-162168
公開番号（公開出願番号）：特開2017-039621
出願日： 2015年08月19日
公開日（公表日）： 2017年02月23日
要約：

【課題】単純Ti酸化物からなる超伝導酸化物薄膜、好適にはTiOの2.3Kを超えるTcを有する単純Ti酸化物からなる超伝導酸化物薄膜を提供することを目的とする。【解決手段】化学式 TiOX(1 請求項（抜粋）：

化学式 TiOX(1 IPC (6件)：

C01G 1/00 ,  H01B 12/06 ,  H01B 13/00 ,  C01G 23/04 ,  C23C 14/08 ,  H01L 39/24

FI (6件)：

C01G1/00 S ,  H01B12/06 ,  H01B13/00 565D ,  C01G23/04 C ,  C23C14/08 L ,  H01L39/24 C

Fターム (30件)：

4G047CA02 ,  4G047CB04 ,  4G047CC03 ,  4G047CD02 ,  4G047CD07 ,  4G047JA04 ,  4G047JC16 ,  4G047KE02 ,  4G047KG01 ,  4K029AA04 ,  4K029AA07 ,  4K029AA24 ,  4K029BA48 ,  4K029BB07 ,  4K029BC04 ,  4K029CA01 ,  4K029DB05 ,  4K029DB20 ,  4M113AA16 ,  4M113AA25 ,  4M113AD36 ,  4M113BA11 ,  4M113BB03 ,  4M113BB19 ,  4M113BC26 ,  4M113CA31 ,  5G321AA01 ,  5G321BA08 ,  5G321CA24 ,  5G321DB37