特許
J-GLOBAL ID：201703011151934382
開環メタセシス共重合体の水素添加物の製造方法およびその水素添加物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
速水 進治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-024089
公開番号（公開出願番号）：特開2017-145409
出願日： 2017年02月13日
公開日（公表日）： 2017年08月24日
要約：
【課題】残留金属成分の量が極めて低く、半導体製造用のレジストポリマーに特に適した開環メタセシス共重合体の水素添加物の提供。【解決手段】開環メタセシス共重合体の水素添加物を製造するための製造方法であって、水素の存在下、ルテニウム(Ru)金属とロジウム(Rh)金属のカーボン担持水素添加反応触媒を用いて、開環メタセシス共重合体の炭素-炭素二重結合を水素添加する工程を含む開環メタセシス共重合体の水素添加物。前記触媒におけるRuとRhの質量比Ru/Rhが80/20〜99/1であり、水素添加率が99.5モル%以上であり、重合触媒及び水素添加触媒由来の金属の全含有量が、1000ppm以下であることが望ましい、開環メタセシス共重合体の水素添加物の製造方法。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
開環メタセシス共重合体の水素添加物を製造するための製造方法であって、
水素の存在下、ルテニウム(Ru)金属とロジウム(Rh)金属のカーボン担持水素添加反応触媒を用いて、開環メタセシス共重合体の炭素-炭素二重結合を水素添加する工程を含み、
前記開環メタセシス共重合体は、下記一般式(1)で表される繰返し構造単位[A]と下記一般式(2)で表される繰返し構造単位[B]を含み、前記構造単位[A]と前記構造単位[B]とのモル比([A]/[B])が5/95以上90/10以下であり、
前記カーボン担持水素添加反応触媒における前記ルテニウムと前記ロジウムとの質量比(Ru/Rh)が80/20以上99/1以下であり、
得られる前記開環メタセシス共重合体の水素添加物の二重結合の水素添加率が99.5モル%以上であり、
得られる前記開環メタセシス共重合体の水素添加物における前記構造単位[A]中の酸不安定基の脱離率が1モル%以下であり、
得られる前記開環メタセシス共重合体の水素添加物における重合触媒および水素添加反応触媒由来の金属の全含有量が1000ppb以下である開環メタセシス共重合体の水素添加物の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (12件)：
4J032BA08
, 4J032BB01
, 4J032BB03
, 4J032CA32
, 4J032CA34
, 4J032CA38
, 4J032CA68
, 4J032CB01
, 4J032CB03
, 4J032CD04
, 4J032CF03
, 4J032CG02
