特許

J-GLOBAL ID：201703011195319952

スリットノズル、基板処理装置およびスリットノズルの製造方法

発明者： 平井 孝典 ,  高木 善則
出願人/特許権者： 株式会社SCREENホールディングス
代理人 (2件)： 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-065586
公開番号（公開出願番号）：特開2014-192289
特許番号：特許第6144514号
出願日： 2013年03月27日
公開日（公表日）： 2014年10月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 スリット状の吐出口をその下部に有して当該吐出口から処理液を吐出するスリットノズルにおいて、 処理液を前記吐出口に導く送液路を有するノズル本体部と、 前記ノズル本体部に貼り合わされて前記ノズル本体部とともに前記吐出口の長手方向に沿った開口縁を規定するノズル蓋部と、 前記ノズル本体部と前記ノズル蓋部との間に挟持されて前記吐出口の幅を規定するシムと、 前記ノズル本体部および前記ノズル蓋部の両端に取り付けられ、前記吐出口の幅方向に沿った開口縁を規定する一対のサイドプレートと、 前記シムと前記サイドプレートとの間に生じる処理液の漏出流路を閉塞する閉塞部と、 を備え、 前記ノズル蓋部の上側両端に、前記ノズル本体部に対向する面からその反対側の面に貫通する切り欠き部が形成され、 前記閉塞部は、 前記切り欠き部に装填される弾性部材と、 前記弾性部材を前記ノズル蓋部および前記ノズル本体部に対して押圧する押圧機構と、 を備えることを特徴とするスリットノズル。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  B05C 5/02 ( 200 6.01) ,  G02F 1/13 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01L 21/30 564 Z ,  B05C 5/02 ,  G02F 1/13 101

引用特許：

出願人引用 (3件)

• ダイヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-105907   出願人：大日本印刷株式会社
• 塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-196700   出願人：コニカ株式会社
• 枚葉基板の製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-078297   出願人：アドバンスト・カラーテック株式会社

審査官引用 (3件)

• ダイヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-105907   出願人：大日本印刷株式会社
• 塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-196700   出願人：コニカ株式会社
• 枚葉基板の製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-078297   出願人：アドバンスト・カラーテック株式会社