特許
J-GLOBAL ID：201703011494492202
照明装置及び検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
三好 秀和
, 伊藤 正和
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-090160
公開番号（公開出願番号）：特開2014-215067
特許番号：特許第6194622号
出願日： 2013年04月23日
公開日（公表日）： 2014年11月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ワークが搭載される床面、一定の波長の光を吸収する吸収板が中央領域に配置され且つ前記一定の波長の光を拡散させながら反射する拡散反射板が前記吸収板の周囲に配置された、前記床面に対向する平面状の天井面、及び、前記床面及び前記天井面に隣接する側面によって内壁面が定義される筐体と、
前記一定の波長の光を出射する光源と
を備え、前記光源から出射されて前記内壁面で反射した光を前記ワークに照射することを特徴とする照明装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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