回転角度検出装置および回転角度検出方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：須田篤 , 楠修二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-012697
公開番号（公開出願番号）：特開2017-133892
出願日： 2016年01月26日
公開日（公表日）： 2017年08月03日
要約：

【課題】小スポット径による高い測定分解能の恩恵を享受しつつも、広角度範囲に渡る角度検出を実現する光学式の回転角度検出装置および回転角度検出方法を提供する。【解決手段】発散レーザー光14をコリメートして生成したコリメート光束15を、被測定物12に搭載された反射部19に入射し、反射部19から反射された測定光束21を対物レンズ46により集光して測定用受光素子28により測定する。測定用受光素子28は、測定光束21を集光して得られた光スポット31の中心が、測定用受光素子28の感応帯29と非感応帯30との境目上に位置するように配置されていると共に、位置決めステージ32に搭載されている。被測定物12が回転したとき、光スポット31の中心がその境目上に位置し続けるように、位置決めステージ32により測定用受光素子28の位置制御を行い、当該位置制御の情報に基づき被測定物12の回転角度を求める。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

単波長レーザー光源と、前記単波長レーザー光源から照射された発散レーザー光をコリメートしてコリメート光束を生成するコリメートレンズと、被測定物に搭載され、前記コリメート光束が入射される反射部と、前記反射部から反射された測定光束を集光する対物レンズと、前記対物レンズにより集光された前記測定光束を測定する測定用受光素子と、前記測定用受光素子を搭載し、前記測定用受光素子の位置決めを行う位置決めステージと、角度算出部とを備えており、前記測定用受光素子は、前記対物レンズの後方焦点距離位置において、前記測定光束を集光して得られた光スポットの中心が前記測定用受光素子の感応帯と非感応帯との境目上に位置するように配置されており、前記位置決めステージは、前記被測定物が回転したとき、前記光スポットの中心が前記境目上に位置し続けるように前記測定用受光素子の位置制御を行い、前記角度算出部は、前記位置決めステージによる前記測定用受光素子の位置制御の情報に基づき、前記被測定物の回転角度を求めるよう構成されていることを特徴とする回転角度検出装置。

IPC (3件)：

G01B 11/26 , G01D 5/347 , G01D 5/38

FI (3件)：

G01B11/26 G , G01D5/347 110X , G01D5/38 A

Fターム (27件)：

2F065AA09 , 2F065AA39 , 2F065BB25 , 2F065DD03 , 2F065FF49 , 2F065FF52 , 2F065GG06 , 2F065HH04 , 2F065HH10 , 2F065JJ01 , 2F065JJ05 , 2F065JJ18 , 2F065JJ22 , 2F065LL04 , 2F065LL12 , 2F065LL36 , 2F065LL37 , 2F065LL42 , 2F065QQ13 , 2F103BA28 , 2F103CA03 , 2F103CA04 , 2F103EB02 , 2F103EC03 , 2F103EC04 , 2F103EC12 , 2F103EC15

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