特許
J-GLOBAL ID:201703012151931096
ブロックコポリマーの自己組織化によりナノメートル構造体の作製を可能にする方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
園田・小林特許業務法人
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-538580
公開番号(公開出願番号):特表2017-503042
出願日: 2014年12月11日
公開日(公表日): 2017年01月26日
要約:
本発明は、ブロックコポリマーのブロックの少なくとも1つが、式Iに対応する少なくとも1つの環状単位を含むモノマーの重合から生じるブロックコポリマーの自己組織化による、ナノメートルサイズの構造体の作製を可能にする方法に関する。[式中、X=Si(R1,R2);Ge(R1,R2)Z=Si(R3,R4);Ge(R3,R4);O;S;C(R3,R4)Y=O;S;C(R5,R6)T=O;S;C(R7,R8)R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8は、水素、ヘテロ原子を有する又は有さない直鎖、分枝又は環状アルキル基、及びヘテロ原子を有する又は有さない芳香族基から選択される]。【選択図】なし
請求項(抜粋):
ブロックコポリマーのブロックの少なくとも1つが、以下の式(I):
IPC (8件):
C08J 5/00
, H01L 21/027
, B82Y 40/00
, B82Y 30/00
, C08L 87/00
, C08J 5/18
, H01L 21/306
, B05D 7/24
FI (8件):
C08J5/00
, H01L21/30 502D
, B82Y40/00
, B82Y30/00
, C08L87/00
, C08J5/18
, H01L21/302 105A
, B05D7/24 302Y
Fターム (46件):
4D075BB24Z
, 4D075BB26Z
, 4D075BB40Z
, 4D075BB57Z
, 4D075DA06
, 4D075DC19
, 4D075DC21
, 4D075DC27
, 4D075EA07
, 4D075EB12
, 4D075EB13
, 4D075EB14
, 4D075EB16
, 4D075EB20
, 4D075EB22
, 4D075EB33
, 4D075EB35
, 4D075EB42
, 4D075EB52
, 4F071AA29
, 4F071AA33X
, 4F071AA53
, 4F071AA65X
, 4F071AA75
, 4F071AG10
, 4F071AG19
, 4F071AG28
, 4F071AG33
, 4F071AG34
, 4F071AH12
, 4F071AH19
, 4F071BA02
, 4F071BB02
, 4F071BB13
, 4F071BC01
, 4F071BC02
, 4F071BC09
, 4F071BC12
, 4F071BC17
, 4J002CP011
, 4J002GP00
, 4J002GQ00
, 4J002GT00
, 4J002HA05
, 5F004EA03
, 5F146AA28
引用特許:
引用文献:
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