特許

J-GLOBAL ID：201703012330384790

レーザ転写装置

発明者： 大西 芳紀 ,  中村 文生 ,  岡山 智彦
出願人/特許権者： 株式会社アルバック
代理人 (2件)： 大森 純一 ,  折居 章
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-132345
公開番号（公開出願番号）：特開2014-137592
特許番号：特許第6140548号
出願日： 2013年06月25日
公開日（公表日）： 2014年07月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】有機発光材料を含む熱転写体が配置された基板を支持するステージと、前記ステージに対向しレーザ光を透過する光入射窓とを有し、真空雰囲気が維持可能な真空室と、 前記真空室外にあって、分割素子を有するレーザ光学系とを具備し、 前記分割素子は、 第1の軸方向にレーザ光が入射される光入射部を有する基材と、 前記光入射部に設けられた、複数の反射面及び複数の非反射面とを有し、 前記複数の反射面は、前記第1の軸方向と交差する第2の軸方向にオフセットしながら、前記第1の軸方向に並び、前記レーザ光のうちの一部をそれぞれ反射して複数の平行な分割光を前記第2の軸方向に出射し、 前記複数の非反射面のそれぞれは、隣り合う前記反射面の間に配置され、前記第1の軸方向に平行であり、且つ、前記第1の軸方向及び前記第2の軸方向に直交する方向に平行である レーザ転写装置。

IPC (4件)：

H05B 33/10 ( 200 6.01) ,  H01L 51/50 ( 200 6.01) ,  H05B 33/24 ( 200 6.01) ,  G02B 5/08 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A ,  H05B 33/24 ,  G02B 5/08 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-028153   出願人：浜松ホトニクス株式会社
• レーザ照射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-244220   出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
• 転写方法および転写装置ならびに有機発光素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-134211   出願人：ソニー株式会社
• レーザ転写装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-007182   出願人：株式会社アルバック