特許
J-GLOBAL ID：200903049778823327
レーザ照射装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-244220
公開番号（公開出願番号）：特開2001-127003
出願日： 2000年08月11日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：
【要約】【課題】 YAGレーザを光源とする線状レーザビームによる非単結晶珪素膜のアニールにおいて、線状レーザビーム内に起こる光干渉に起因するエネルギーの不均一が該珪素膜に反映しないようにする。【解決手段】 レーザビームは、階段状のミラー604により、互いに前記レーザビームのコヒーレント長以上の光路差を持つレーザビームに分割される。分割されたレーザビームはシリンドリカルアレイレンズ605、シリンドリカルレンズ606の作用により、照射面611にて1つにまとめられ、線状レーザビームの長さ方向の均一化と長さが決定される。一方、シリンドリカルアレイレンズ607で分割されたレーザビームはシリンドリカルレンズ608とダブレットシリンドリカルレンズ609により照射面611にて1つにまとめられ線状レーザビームの幅方向の均一化と幅が決定される。階段状のミラー604の作用より、線状レーザビーム内の、線状レーザビームの幅方向に平行な干渉縞が消える。この線状レーザビームを幅方向にずらしながらアニールされた珪素膜は、従来と比較し均一性が著しく向上する。
請求項（抜粋）：
照射面において断面形状が線状となるレーザビームを照射するレーザ照射装置であって、レーザ発振器と、光学系と、少なくとも1方向に動くステージと、を有し、前記光学系は、レーザビームを、該レーザビームの進行方向に対し、直角方向に分割する役割を果たす光学系1と、分割された前記レーザビームを照射面で1つにし、前記照射面において断面形状が線状となるレーザビームの幅方向においてレーザビームのエネルギーを均一化する役割を果たす光学系2と、前記直角方向と直角でかつレーザビームの進行方向に対し直角である方向にレーザビームを分割する役割を果たす光学系3と、分割された前記レーザビームを照射面で1つにし、前記照射面において断面形状が線状となるレーザビームの長さ方向においてレーザビームのエネルギーを均一化する役割を果たす光学系4と、前記光学系3にて分割されるレーザビームの各々の、前記レーザビームの出口から照射面までの光路長を、互いに前記レーザビームのコヒーレント長以上の差にする手段と、を有することを特徴とするレーザ照射装置。
IPC (4件)：
H01L 21/268
, B23K 26/06
, H01L 21/20
, B23K101:40
H01L 21/268 J
, B23K 26/06 E
, H01L 21/20
, B23K101:40
