厚さ方向同軸構造体を備えた多層電子構造体

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)： ▲吉▼川俊雄 , 市川寛奈
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-213730
公開番号（公開出願番号）：特開2013-251519
特許番号：特許第6142980号
出願日： 2012年09月27日
公開日（公表日）： 2013年12月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 XY平面内に延在する複数の誘電層を備え、かつ前記XY平面に対して実質的に垂直であるZ方向に少なくとも1つの誘電層を通して延在するスタックされた柱の少なくとも1つの同軸対を備える多層電子支持構造体であって、前記スタックされたビア柱の同軸対が、誘電材料の分離チューブによって中央柱から隔てられるトロイダルビア柱によって取り囲まれる前記中央柱を備え、前記柱のスタックの各柱が、シード層及び電気メッキされた層を備えることを特徴とする構造体。

IPC (1件)：