特許
J-GLOBAL ID：201703013494219681
圧電アクチュエータ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
新保 斉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-010030
公開番号（公開出願番号）：特開2017-133513
出願日： 2017年01月24日
公開日（公表日）： 2017年08月03日
要約：
【課題】小型流体制御装置と小型バルブ装置を統合し、従来技術の欠点を改善した、小型空気圧動力装置を提供することにある。【解決手段】本発明の小型空気圧動力装置は、小型流体制御装置と小型バルブ装置を含み、前記小型流体制御装置が、重ねて設置された気体導入板、共振片、圧電アクチュエータ、集気板を含み、そのうち共振片と圧電アクチュエータの間に間隙が形成する第1チャンバを備え、圧電アクチュエータが駆動されると、気体が気体導入板から導入され、共振片を経て第1チャンバ内に進入し、さらに継続して伝送され、圧力勾配流路を形成して気体が持続的に押し出され、前記小型バルブ装置が、重ねて設置されたバルブ片と出口板を含み、気体が小型流体制御装置から小型バルブ装置内に伝送されると、気体の単方向の流動に応じてバルブ片の弁孔が開閉され、圧力蓄積または圧力逃がしが行われる。【選択図】図1A
請求項（抜粋）：
圧電アクチュエータであって、懸吊板と、外枠と、少なくとも1つのフレームと、圧電セラミック板を含み、
前記懸吊板が、正方形の構造で、4mm〜8mmの間の辺の長さを有し、かつ中心部から外周部まで湾曲振動することができ、
前記外枠が、前記懸吊板の外側に周設され、
前記少なくとも1つのフレームが前記懸吊板と前記外枠の間に連接されて、弾性的な支持を提供し、
前記圧電セラミック板が、正方形の構造で、前記懸吊板の辺の長さより大きくない辺の長さを有し、前記懸吊板の第1表面に貼付され、電圧の印加で前記懸吊板を駆動して湾曲振動させるために用いられることを特徴とする、圧電アクチュエータ。
IPC (5件)：
F04B 45/047
, H01L 41/09
, H01L 41/187
, F04B 45/04
, H02N 2/04
F04B45/047 C
, H01L41/09
, H01L41/187
, F04B45/04 B
, F04B45/04 C
, H02N2/04
3H077AA12
, 3H077BB03
, 3H077CC02
, 3H077CC09
, 3H077DD06
, 3H077EE02
, 3H077EE05
, 3H077EE23
, 3H077EE24
, 3H077EE34
, 3H077EE36
, 3H077FF07
, 3H077FF09
, 3H077FF36
, 5H681AA19
, 5H681BB13
, 5H681BC00
, 5H681DD23
, 5H681EE10
, 5H681GG42
審査官引用 (2件)
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圧電型電気音響変換器
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-115857
出願人：株式会社村田製作所
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流体制御装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2011-194430
出願人：株式会社村田製作所, オムロンヘルスケア株式会社
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