特許
J-GLOBAL ID:201703013536670133
光偏向器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人創成国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-099975
公開番号(公開出願番号):特開2017-207631
出願日: 2016年05月18日
公開日(公表日): 2017年11月24日
要約:
【課題】光偏向器において可動支持体の往復回動の周波数が低くても、回動角センサの出力が十分なS/N比となるようにする。【解決手段】光偏向器1は、第1軸線Lxの回りにミラー部2と一体に往復回動する可動枠4と、可動枠4を第1軸線Lxの回りに往復回動させる外側圧電アクチュエータ5と、第1軸線Lxに対する直交方向の第2軸線Lyを駆動振動方向にして可動枠4に第2軸線Lyの外側から結合する音叉型ジャイロセンサ11とを備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光を反射するミラー部と、
前記ミラー部を支持する可動支持体と、
前記可動支持体を支持する固定支持体と、
前記可動支持体を第1軸線の回りに往復回動させる第1アクチュエータと、
前記第1軸線に対する直交方向を駆動振動方向にして前記可動支持体に結合する振動式ジャイロセンサとを備えることを特徴とする光偏向器。
IPC (3件):
G02B 26/10
, G02B 26/08
, B81B 3/00
FI (3件):
G02B26/10 104Z
, G02B26/08 E
, B81B3/00
Fターム (34件):
2H045AB06
, 2H045AB13
, 2H045AB24
, 2H045AB25
, 2H045AB38
, 2H045AB72
, 2H045AB81
, 2H141MA12
, 2H141MB24
, 2H141MC09
, 2H141MD13
, 2H141MD16
, 2H141MD20
, 2H141MD23
, 2H141MD24
, 2H141MZ03
, 2H141MZ06
, 2H141MZ12
, 2H141MZ15
, 2H141MZ16
, 2H141MZ26
, 3C081AA01
, 3C081BA28
, 3C081BA43
, 3C081BA44
, 3C081BA47
, 3C081BA48
, 3C081BA55
, 3C081BA75
, 3C081CA02
, 3C081CA13
, 3C081DA03
, 3C081DA30
, 3C081EA08
引用特許:
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