特許
J-GLOBAL ID：201703013680575188

圧力センサ

発明者：
関谷 晴彦

関谷 晴彦 について

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遠山 秀司

遠山 秀司 について

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秋元 信彦

秋元 信彦 について


出願人/特許権者：
長野計器株式会社

長野計器株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-077072
公開番号（公開出願番号）：特開2017-187411
出願日： 2016年04月07日
公開日（公表日）： 2017年10月12日
要約：
【課題】気密性が高いとともに組立が容易であり、かつ、組立にあたり、ダイアフラム部に歪みが生じることが少ない圧力センサを提供する。【解決手段】センサモジュール2と継手1とは異なる金属材料から形成される。センサモジュール2は、ダイアフラム部23側に位置する第一部91と第一部91より径が大きい大径部25を有する第二部92とを備え、継手1には、大径部25の外周縁部が係合する段差11Aが形成され、大径部25と継手1とは接合部8を介して互いに接合されている。接合部8は、メタルフローと称される塑性変形結合である。継手1とモジュール本体21との間にはスペースSが形成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被測定流体が導入される開口端と前記開口端から導入される被測定流体の圧力により変位するダイアフラム部とを有するセンサモジュールと、前記センサモジュールが取り付けられ前記センサモジュールに被測定流体を導入する導入孔が形成された継手とを備え、 前記センサモジュールと前記継手とは異なる金属材料から形成され、 前記センサモジュールは、前記ダイアフラム部側に位置する第一部と前記開口端側に位置し前記第一部に対して径が大きい大径部を有する第二部と、を備え、 前記継手には、前記大径部の外周縁部が係合する段差が形成され、 前記大径部は接合部を介して前記継手に接合され、 前記接合部は、前記大径部の外周部分と前記継手との間に形成され周方向に位置する部分が局部的な塑性変形と弾性変形圧をもって食い込み、かつ、軸方向の弾性変形圧を封入して軸方向の結合を維持し、 前記継手と少なくとも前記第一部との間には、前記継手と前記大径部とを接合する際に前記継手に生じる応力を前記ダイアフラム部へ伝達することを阻止するスペースが形成された、ことを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件)：
G01L 19/00 ,  G01L 19/14
FI (2件)：
G01L19/00 A ,  G01L19/14
Fターム (6件)：
2F055CC02 ,  2F055DD01 ,  2F055EE11 ,  2F055GG01 ,  2F055GG12 ,  2F055GG25
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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