誘電率評価方法

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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：山川茂樹 , 小池勇三 , 山川政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-101309
公開番号（公開出願番号）：特開2017-207422
出願日： 2016年05月20日
公開日（公表日）： 2017年11月24日
要約：

【課題】高い精度で物体の比誘電率を検出する。【解決手段】誘電率評価方法は、m個の周波数f1,f2,・・・,fmの電磁波を被測定物に照射する電磁波照射ステップ(S100,S103)と、被測定物を透過した電磁波を検出する電磁波検出ステップ(S101,S104)と、電磁波の位相変化を検出する位相検出ステップ(S102,S105)と、隣接する2つの周波数fn,fn+1の電磁波の位相差を算出する位相差算出ステップ(S106)と、算出した位相差が負の場合にfn+1以降の各周波数の電磁波の位相変化に2πを加算して更新する処理を、n=1からn=m-1まで繰り返す更新ステップ(S107〜S111)と、周波数f1と周波数f1の電磁波の位相変化と周波数fmと周波数fmの電磁波の更新後の位相変化と被測定物の厚さとから、被測定物の比誘電率を算出する比誘電率算出ステップ(S112)とを含む。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

各周波数で想定される最大位相誤差をθnoise、被測定物の想定される最大比誘電率をεeff_max、前記被測定物の厚さをL、光速をcとしたとき、隣接する2つの周波数fn,fn+1の間隔Δfが

IPC (2件)：

G01R 27/26 , G01N 22/00

FI (2件)：

G01R27/26 H , G01N22/00 Y

Fターム (7件)：

2G028AA01 , 2G028CG09 , 2G028CG18 , 2G028CG20 , 2G028DH11 , 2G028DH15 , 2G028HN14

引用特許：

出願人引用 (4件)

製品内の異物を検出する装置および方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-523846 出願人：エスアイケイ-インスチチュートフォーライブスメデルオークバイオテクニクアーベー
ミリ波イメージングシステム
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-229132 出願人：日本電信電話株式会社
膜厚測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-169368 出願人：大塚電子株式会社

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