静電容量型圧力センサ及び入力装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中野雅房
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-057273
公開番号（公開出願番号）：特開2014-182031
特許番号：特許第6127625号
出願日： 2013年03月19日
公開日（公表日）： 2014年09月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】半導体からなる固定電極と、前記固定電極の上方に形成された誘電体層と、前記誘電体層の上方に空隙を隔てて形成された導電性のダイアフラムとを備え、前記ダイアフラムが圧力を受けて前記誘電体層と接触する接触面積の変化を検出してその圧力を測定する静電容量型の圧力センサにおいて、前記固定電極の少なくとも上面における不純物濃度が2.00×1017cm-3以上2.10×1019cm-3以下であることを特徴とする静電容量型圧力センサ。

IPC (2件)：