特許
J-GLOBAL ID：201703015140905297
質量分析装置、イオン照射装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
堀 城之
, 前島 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-109624
公開番号（公開出願番号）：特開2016-225108
出願日： 2015年05月29日
公開日（公表日）： 2016年12月28日
要約：
【課題】分析対象となる試料の状態によらず、高精度の質量分析を行う。【解決手段】この質量分析装置1は、試料100中の原子のイオン化及び加速を行う高エネルギーイオン発生部2と、このイオンを質量電荷比毎に分離するイオン分離部3を具備する。高エネルギーイオン発生部2において、試料100のイオン化及び加速に用いられるパルスレーザー光200は、レーザー発振器10で生成される。この場合の試料100表面におけるパルスレーザー光200の電界強度は、100TV/m程度と極端に高いため、試料100中の原子をイオン化してイオンを生成する際に、その価数を大きく(価数>>1)とすることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料の原子をイオン化して加速し、加速後のイオンを磁場下においてを質量電荷比に応じて分離する質量分析装置であって、
パルスレーザー光を前記試料に照射して前記試料をプラズマ化し、当該プラズマ中に同時に生成された加速場を利用して前記プラズマ中のイオンを加速する高エネルギーイオン発生部と、
前記高エネルギーイオン発生部を用いて加速された前記イオンに電場及び/又は磁場を印加し、前記イオンの前記電場及び/又は磁場中における質量電荷比に応じた軌道の違いによって前記イオンを前記質量電荷比に応じて分離するイオン分離部と、
を具備することを特徴とする質量分析装置。
IPC (5件)：
H01J 49/16
, H01J 49/06
, H01J 49/04
, H01J 37/30
, G01N 27/62
H01J49/16
, H01J49/06
, H01J49/04
, H01J37/30 Z
, G01N27/62 G
2G041CA01
, 2G041DA03
, 2G041GA13
, 5C034AA01
, 5C038EF29
, 5C038EF33
, 5C038FF13
, 5C038GG07
