特許
J-GLOBAL ID:201703015200590894
ガス電子増幅器用電極、ガス電子増幅器及びガス電子増幅器用電極の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (3件):
志賀 正武
, 鈴木 三義
, 勝俣 智夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-172301
公開番号(公開出願番号):特開2017-073382
出願日: 2016年09月02日
公開日(公表日): 2017年04月13日
要約:
【課題】量産性に優れ、電極間の放電による短絡を抑制できるガス電子増幅器用電極を提供する。【解決手段】本発明のガス電子増幅器用電極は、複数の貫通孔を有し、ガス中において電子を増幅するガス電子増幅器用電極であって、セラミックスからなる絶縁層と、前記絶縁層の両面に形成された導電層と、を備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
複数の貫通孔を有し、ガス中において電子を増幅するガス電子増幅器用電極であって、
セラミックスからなる絶縁層と、
前記絶縁層の両面に形成された導電層と、を備えるガス電子増幅器用電極。
IPC (4件):
H01J 47/02
, G01T 1/18
, H01J 9/14
, H01J 9/44
FI (4件):
H01J47/02
, G01T1/18 D
, H01J9/14 Z
, H01J9/44 A
Fターム (16件):
2G188AA03
, 2G188AA25
, 2G188BB02
, 2G188BB04
, 2G188BB05
, 2G188BB06
, 2G188BB09
, 2G188CC04
, 2G188DD05
, 2G188DD42
, 2G188DD43
, 2G188DD44
, 5C012AA09
, 5C012VV02
, 5C038DD01
, 5C038DD15
引用特許:
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