特許

J-GLOBAL ID：201703015309684163

光学系の少なくとも1つの光学素子を作動させる機構

発明者： マルクス ハウフ ,  アレクサンダー ヴォグラー
出願人/特許権者： カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
代理人 (3件)： 杉村 憲司 ,  下地 健一 ,  福尾 誠
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-544401
特許番号：特許第6053081号
出願日： 2013年11月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 光学系の少なくとも1つの光学素子を作動させる機構であって、前記光学素子(101)は、継手剛性を有する少なくとも1つの継手(102)により少なくとも1つの傾斜軸を中心に傾斜可能である機構において、 前記光学素子(101)に力を及ぼす少なくとも1つのアクチュエータ(104) を備え、前記アクチュエータ(104)は、前記継手剛性を少なくとも部分的に補償するアクチュエータ剛性を有する機構。

IPC (1件)：

G03F 7/20 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G03F 7/20 521 ,  G03F 7/20 503

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 放射線ビームを案内するための光学モジュール
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2011-531406   出願人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
• 投影露光装置内の光学素子のための重力補償器
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2011-540118   出願人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー