特許
J-GLOBAL ID：201203044420844822
投影露光装置内の光学素子のための重力補償器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
杉村 憲司
, 下地 健一
, 坪内 伸
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-540118
公開番号（公開出願番号）：特表2012-511821
出願日： 2009年12月11日
公開日（公表日）： 2012年05月24日
要約：
本発明は、投影露光装置内に光学素子をマウントするための重力補償器及び対応する投影露光装置に関する。重力補償器は、マウントされる光学素子の重力荷重を少なくとも部分的に補償し、同時に光学素子の位置変化時において補償される重量による力が許容できない態様で変更されることを伴わずにして光学素子の位置変化を可能にする。このことは特に、重量による力が高い場合に適用可能である。さらに、本発明による重力補償器は、異なる雰囲気下での使用を可能にし、これに起因する経年変化に対する補償をもたらす。
請求項（抜粋）：
光学素子をマウントするため及びz方向において作用し、かつ、マイクロリソグラフィのための投影露光装置内の力点に加えられる力Fを補償するための重量による力を補償するための補償器であって、
-補償素子のアーマチュアと、
-前記補償素子の前記アーマチュアをガイドするためのガイド手段
とを備え、
-前記アーマチュアは、前記力Fの向かう前記z方向において可動であり、かつ、前記力点を包囲し、
-前記補償素子は、前記力Fの向かう前記z方向に関して第1の力対距離特性曲線を持ち、また、前記力Fを有する第1の力区間ΔF1における最大の力と最小の力との差たるΔFF1を第1の距離区間Δz1の絶対値で除算した商として求められ、かつ、前記第1の力対距離特性曲線によって前記第1の力区間ΔF1に割り当てられ、かつ、前記第1の力対距離特性曲線によって前記力Fが対応付けられる第1の点z0の周辺に関する、第1のベアリング剛性S1を持ち、
-前記ガイド手段は、前記力Fの向かう方向に関しての第2の力対距離特性曲線を持ち、また、第2の力区間ΔF2における最大の力と最小の力との差たるΔFF2を第1の距離区間Δz1の絶対値で除算した商として求められ、かつ、前記第1の点z0の周辺の前記第1の距離区間Δz1における前記第2の力対距離特性曲線によって割り当てられる、第2のベアリング剛性S2を持ち、
-前記力を補償するための補償器の力は、前記第1及び前記第2の力対距離特性曲線から求められる力の合算により求められ、
-前記合算により生じる力対距離特性曲線は、前記力Fを有する少なくとも1つの第3の力区間ΔF3における最大の力と最小の力との差たるΔFF3を少なくとも1つの点z0*の周辺の前記第1の距離区間Δz1の絶対値で除算した商として求められる第3のベアリング剛性S3を持ち、
-前記少なくとも1つの第3の力区間ΔF3は、前記少なくとも1つの点z0*の周辺の前記第1の距離区間Δz1においての前記生じる力対距離特性曲線によって定義され、
-前記少なくとも1つの点z0*は、前記生じる力対距離特性曲線によって前記力Fに対応付けられ、
-前記ベアリング剛性S3は、前記ベアリング剛性S1以下であり、及び/又は前記生じる力対距離特性曲線は、互いに前記第1の距離区間Δz1より大きな距離で離隔された少なくとも2つの点z0*を有し、及び/又は前記生じる力対距離特性曲線における前記力Fの周辺の前記差たるΔFF1はΔz1より大なる距離区間に割り当てられる、重量による力を補償するための補償器。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20
, G02B 7/198
H01L21/30 531A
, G03F7/20 521
, G02B7/18 B
, H01L21/30 515D
2H043BC01
, 2H043BC08
, 5F146GA03
, 5F146GA21
, 5F146GA27
, 5F146GB15
