特許
J-GLOBAL ID：201203057137290718
放射線ビームを案内するための光学モジュール
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
杉村 憲司
, 澤田 達也
, 坪内 伸
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-531406
公開番号（公開出願番号）：特表2012-506135
出願日： 2009年10月19日
公開日（公表日）： 2012年03月08日
要約：
光学モジュールを用いて、EUV放射線ビームを案内する。光学モジュールは、真空排気可能なチャンバ(32)と、チャンバ(32)内に収容した少なくとも1つのミラーとを備える。上記ミラーは、互いに補完し合ってミラー反射面全体を形成する反射面(34)を有する複数の個別ミラー(27)を有する。支持構造を、熱伝導部(37)により個別ミラー(27)それぞれのミラー本体(35)にそれぞれ機械的に連結する。ミラー本体(35)の少なくとも若干は、少なくとも1自由度での支持構造(36)に対するミラー本体(35)の所定の変位を得るための関連のアクチュエータ(50)を有する。熱伝導部(37)は、ミラー本体(35)が吸収する少なくとも1kW/m2の熱パワー密度を支持構造(36)に放散させるよう構成する。光学モジュールの一態様では、集積電子変位回路を、変位可能な個別ミラー(27)のそれぞれに空間的に近接して関連付ける。この変更形態では、中央制御装置を、変位可能な個別ミラー(27)の集積電子変位回路と信号接続する。その結果、個別ミラーに無視できない熱負荷がかかる場合でも高いEUV放射線スループットを確保する照明光学系を構成できる、光学モジュールが得られる。【選択図】図11
請求項（抜粋）：
放射線ビームを案内するための光学モジュールであって、
少なくとも1つのミラー(13,14;26,28)であり、
互いに補完し合ってミラー反射面全体を形成する反射面(34)を有する複数の個別ミラー(27)を有し、
熱伝導部(37)により前記個別ミラー(27)それぞれのミラー本体(35)にそれぞれ機械的に連結した支持構造(36)を有し、
前記ミラー本体(35)の少なくとも若干は、少なくとも1自由度での前記支持構造(36)に対する前記ミラー本体(35)の所定の変位を得るための関連のアクチュエータ(50)を有し、
集積電子変位回路(103)を、変位可能な前記個別ミラー(27)のそれぞれに空間的に近接して関連付けた、
該ミラー(13,14;26,28)と、
中央制御装置(153)であり、変位可能な前記個別ミラー(27)の前記集積電子変位回路(103)に接続した信号接続部(151,152,120)を有する、該中央制御装置(153)と、
を備える、光学モジュール。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20
, G02B 17/08
, H05G 2/00
H01L21/30 531A
, G03F7/20 503
, G02B17/08 Z
, H05G1/00 K
2H087KA21
, 2H087LA27
, 2H087NA04
, 2H087TA02
, 2H097CA15
, 2H097LA10
, 4C092AA04
, 4C092AA06
, 4C092AB21
, 4C092AC09
, 4C092BD11
, 4C092BD20
, 5F146GA21
, 5F146GA25
, 5F146GA27
, 5F146GB11
, 5F146GB15
