特許
J-GLOBAL ID：201703015460243039
複合型x線および光学計測のためのモデル構築ならびに解析エンジン、方法、コンピュータ読み取り可能媒体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-521699
特許番号：特許第6184490号
出願日： 2013年07月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 モデル構築および解析エンジンであって、
標本の構造の幾何学的モデルを生成するように構成された幾何学的モデル構築モジュールと、
前記幾何学的モデルに少なくとも一部基づいて入射光学放射に対する前記標本の前記構造の応答の光学応答モデルを生成するように構成された光学応答関数構築モジュールと、
前記幾何学的モデルに少なくとも一部基づいて入射x線放射に対する前記標本の前記構造の応答のx線応答モデルを生成するように構成されたx線応答関数構築モジュールであって、前記光学応答モデルと前記x線応答モデルとの両方は、前記幾何学的モデルから少なくとも1つの共通幾何学的パラメータを含む、当該x線応答関数構築モジュールと、
フィッティング解析モジュールであって、
前記標本上の光学照明ビーム入射に応答して前記標本から検出された光学放射の量を示す測定データの第1の量を受信し、
前記標本上のx線照明ビーム入射に応答して前記標本から検出されたx線放射の量を示す測定データの第2の量を受信し、
前記測定データの第1の量を用いる前記光学応答モデルのフィッティングおよび前記測定データの第2の量に対する前記x線応答モデルのフィッティングに基づいて少なくとも1つの標本パラメータ値を決定し、
メモリ内への記憶のために前記少なくとも1つの標本パラメータ値を出力するように構成された、当該フィッティング解析モジュールと、を備える、モデル構築および解析エンジン。
IPC (4件)：
G01B 21/02 ( 200 6.01)
, G01B 11/02 ( 200 6.01)
, G01B 15/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/66 ( 200 6.01)
G01B 21/02 Z
, G01B 11/02 G
, G01B 15/00 A
, H01L 21/66 J
