顕微装置及び顕微観察方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：長谷川芳樹 , 黒木義樹 , 柴山健一 , 諏澤勇司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-169300
公開番号（公開出願番号）：特開2017-027062
出願日： 2016年08月31日
公開日（公表日）： 2017年02月02日
要約：

【課題】検出像におけるスポットノイズおよび背景ノイズを同時に低減させること。【解決手段】顕微観察用光学装置4は、サンプルSからの赤外光をカメラ3に入射させる光学装置であって、低倍率の顕微光学系5に対応する開口13d,13eを有し、サンプルSからの光をカメラ3に通過させる真空容器12内に配置された絞り部材であるコールドストップ13と、高倍率の顕微光学系5に対応する開口14を有し、サンプルSからの光をコールドストップ13に向けて通過させる真空容器12外に配置された絞り部材であるウォームストップ10と、ウォームストップ10をサンプルSからの光の光軸上に出し入れ可能に支持する支持部材11とを備え、ウォームストップ10は、カメラ3側に反射面15を有し、開口14は開口13d,13eより小さい。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

物体からの光を観察する顕微装置であって、第1の倍率を有する第1の光学系、及び前記第1の倍率よりも高い倍率である第2の倍率を有する第2の光学系を有し、前記第1の光学系及び前記第2の光学系のいずれか一方が前記物体に対向して配置されるように構成された顕微光学系と、前記物体からの光を撮像する撮像素子と、前記第2の光学系に対応する開口を有し、前記物体からの光を前記撮像素子に向けて通過させる絞り部材と、前記絞り部材を前記物体からの光の光軸上に出し入れ可能に支持する支持部材と、を備え、前記絞り部材は、前記第1の光学系が用いられる場合には、前記支持部材により前記光軸上から外すように支持され、前記第2の光学系が用いられる場合には、前記支持部材により前記光軸上に配置されるように支持される、ことを特徴とする顕微装置。

IPC (8件)：

G02B 21/00 , G02B 15/06 , G02B 7/02 , G03B 17/02 , G03B 7/095 , G02B 7/04 , G02B 13/00 , H04N 5/225

FI (8件)：

G02B21/00 , G02B15/06 , G02B7/02 H , G03B17/02 , G03B7/095 , G02B7/04 C , G02B13/00 , H04N5/225 C

Fターム (26件)：

2H002CC21 , 2H002JA12 , 2H044AG00 , 2H052AA09 , 2H052AB05 , 2H052AB30 , 2H052AD29 , 2H052AD35 , 2H052AF06 , 2H052AF14 , 2H087KA01 , 2H087LA01 , 2H087LA27 , 2H087NA03 , 2H087NA18 , 2H087RA31 , 2H087RA44 , 2H087SA83 , 2H100CC02 , 5C122DA12 , 5C122EA22 , 5C122EA54 , 5C122FB02 , 5C122FB03 , 5C122FF04 , 5C122HA82

引用特許：

審査官引用 (3件)

顕微観察用光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-286218 出願人：浜松ホトニクス株式会社
像検出光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-312548 出願人：株式会社ニコン
顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-366399 出願人：株式会社ニコン

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