顕微観察用光学装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：長谷川芳樹 , 黒木義樹 , 石田悟 , 諏澤勇司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-286218
公開番号（公開出願番号）：特開2013-033198
出願日： 2011年12月27日
公開日（公表日）： 2013年02月14日
要約：

【課題】検出像におけるスポットノイズおよび背景ノイズを同時に低減させること。【解決手段】顕微観察用光学装置4は、サンプルSからの赤外光をカメラ3に入射させる光学装置であって、低倍率の顕微光学系5に対応する開口13d,13eを有し、サンプルSからの光をカメラ3に通過させる真空容器12内に配置された絞り部材であるコールドストップ13と、高倍率の顕微光学系5に対応する開口14を有し、サンプルSからの光をコールドストップ13に向けて通過させる真空容器12外に配置された絞り部材であるウォームストップ10と、ウォームストップ10をサンプルSからの光の光軸上に出し入れ可能に支持する支持部材11とを備え、ウォームストップ10は、カメラ3側に反射面15を有し、開口14は開口13d,13eより小さい。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

物体からの光を撮像素子に入射させる顕微観察用光学装置であって、第1の倍率を有する前記物体側の光学系に対応する第1の開口を有し、前記物体からの光を前記撮像素子に通過させる真空容器内に配置されたコールドストップと、第2の倍率を有する前記物体側の光学系に対応する第2の開口を有し、前記物体からの光を前記コールドストップに向けて通過させる前記真空容器外に配置された絞り部材であるウォームストップと、前記ウォームストップを前記物体からの光の光軸上に出し入れ可能に支持する支持部材と、を備え、前記ウォームストップは、前記撮像素子側に反射面を有し、前記第2の開口は前記第1の開口より小さい、ことを特徴とする顕微観察用光学装置。

IPC (2件)：

G02B 7/02 , G02B 13/24

FI (2件)：

G02B7/02 H , G02B13/24

Fターム (7件)：

2H044AG01 , 2H087KA01 , 2H087LA27 , 2H087NA03 , 2H087NA18 , 2H087RA31 , 2H087RA44

引用特許：

審査官引用 (7件)

像検出光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-312548 出願人：株式会社ニコン
赤外線撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-283647 出願人：富士通株式会社
赤外線光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-122994 出願人：株式会社ニコン

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