特許

J-GLOBAL ID：201703016160242916

静圧ステージ装置

発明者： 中須 祥浩
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (8件)： 岡部 讓 ,  臼井 伸一 ,  越智 隆夫 ,  高橋 誠一郎 ,  吉澤 弘司 ,  齋藤 正巳 ,  木村 克彦 ,  田中 尚文
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-126696
公開番号（公開出願番号）：特開2013-249930
特許番号：特許第6105866号
出願日： 2012年06月04日
公開日（公表日）： 2013年12月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 流体供給源と、 前記流体供給源から流体を供給するために前記流体供給源に接続されている流体供給管と、案内面を有する基台と、 前記案内面に対向する面に静圧軸受が設けられており、前記静圧軸受に流体を供給するため流体流路が形成されている移動体と、を有する静圧ステージ装置であって、 前記移動体の前記流体流路は、前記流体供給管から流体を受領し、 前記流体流路には絞り部が設けられており、 該絞り部を介して前記流体流路から前記静圧軸受に流体が供給されて前記静圧軸受と前記基台の前記案内面との間に軸受隙間が画成され、 前記移動体は、前記案内面と対向する面と反対側の面に、前記流体流路と連通し、且つ前記流体供給管との間に外部に通じている隙間を形成するように、流体溜まり部が設けられていることを特徴とする、静圧ステージ装置。

IPC (1件)：

F16C 32/06 ( 200 6.01)

FI (1件)：

F16C 32/06 A

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 静圧直動気体軸受
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-251686   出願人：日本精工株式会社
• 静圧スライドテーブル装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-057094   出願人：豊田工機株式会社
• 特開平4-041142
  

審査官引用 (1件)

• 静圧直動気体軸受
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-251686   出願人：日本精工株式会社