特許
J-GLOBAL ID：201703016631484508
光学特性計測装置および光学特性計測方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人三澤特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-272290
公開番号（公開出願番号）：特開2014-119269
特許番号：特許第6057210号
出願日： 2012年12月13日
公開日（公表日）： 2014年06月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1光源から出力された光の光路を第1試料光路と第1参照光路とに分割し、前記第1試料光路を通過する第1信号光で試料の所定領域をスキャンし、前記第1試料光路を経由した第1信号光と前記第1参照光路を経由した第1参照光とを干渉させて第1干渉光を生成し、生成された第1干渉光を検出する第1干渉光学系と、
第1干渉光の検出結果に基づいて、前記第1試料光路と前記第1参照光路との間の光路長差を変更する光路長差制御部と、
前記光路長差制御部による光路長差の変更量を示す変更量情報を取得する変更量情報取得部と、
第2光源から出力された光の光路を第2試料光路と第2参照光路とに分割し、前記第2試料光路を通過する第2信号光で前記所定領域をスキャンし、前記第2試料光路を経由した第2信号光と前記第2参照光路を経由した第2参照光とを干渉させて第2干渉光を生成し、生成された第2干渉光を検出する第2干渉光学系と、
第2干渉光の検出結果に基づいて前記所定領域の断層情報を取得する断層情報取得部と、
前記変更量情報取得部により取得された変更量情報と、前記断層情報取得部により取得された断層情報とに基づいて、前記所定領域における屈折率分布を取得する屈折率分布取得部と
を有する光学特性計測装置。
IPC (2件)：
G01N 21/17 ( 200 6.01)
, G01N 21/45 ( 200 6.01)
G01N 21/17 630
, G01N 21/45 A
