特許
J-GLOBAL ID：201703016762617520
研磨パッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
青木 宏義
, 天田 昌行
, 岡田 喜雅
, 菅野 亨
, 溝口 勉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-282067
公開番号（公開出願番号）：特開2014-124704
特許番号：特許第6208940号
出願日： 2012年12月26日
公開日（公表日）： 2014年07月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 板状ワークを回転可能に保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルが保持した板状ワークを研磨する研磨手段と、該研磨手段と該チャックテーブルとを相対的に該保持面に平行な水平方向に移動させる移動手段と、から少なくとも構成される研磨装置の該研磨手段に回転可能に装着する研磨パッドであって、
該研磨パッドは、一方の面が該研磨手段に着脱可能とし他方の面に研磨部材を装着させる円盤状の円盤基台と、該円盤基台の直径より小さい外径の円盤状の研磨部材が該円盤基台の中央に配設され、該チャックテーブルの保持面全面を覆うことのできる中央研磨部と、該中央研磨部を囲繞するリング状の研磨部材で該中央研磨部より突出した外周研磨部とで構成され、板状ワークの外周の一部を該中央研磨部の外周からはみ出させ該中央研磨部を板状ワークの表面に接触させ板状ワークの中央部分の研磨加工を可能にし、板状ワークの外周部分に該外周研磨部を接触させ板状ワークの外周部分の研磨加工を可能にする隙間が、該中央研磨部と該外周研磨部との間に形成された研磨パッド。
IPC (2件)：
B24B 37/20 ( 201 2.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
B24B 37/20
, H01L 21/304 622 F
