ホイルトラップ及びこのホイルトラップを用いた光源装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長澤俊一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-184870
公開番号（公開出願番号）：特開2015-053365
特許番号：特許第6135410号
出願日： 2013年09月06日
公開日（公表日）： 2015年03月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】光を放出するプラズマの近傍に配置され、主軸から放射状に伸びる複数のホイルを備え、上記光は通過するが上記プラズマからのデブリは捕捉するホイルトラップであって、上記複数のホイルが主軸上に配置された中心支柱により支持されていて、上記中心支柱と連結した回転機構により上記中心支柱を回転軸として回転可能に構成されている回転式ホイルトラップにおいて、上記中心支柱の側面には複数の溝部が設けられ、当該溝部のそれぞれに各ホイルの一端部が挿入され、上記中心支柱と上記各ホイルとはろう付けにより固定されていることを特徴とする回転式ホイルトラップ。

IPC (5件)：

G03F 7/20 ( 200 6.01) , G21K 5/00 ( 200 6.01) , G21K 5/02 ( 200 6.01) , G21K 1/06 ( 200 6.01) , H05G 1/00 ( 200 6.01)

FI (5件)：

G03F 7/20 503 , G21K 5/00 S , G21K 5/02 X , G21K 1/06 T , H05G 1/00

引用特許：

出願人引用 (9件)

ホイルトラップおよびこのホイルトラップを用いた光源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-021207 出願人：ウシオ電機株式会社
リソグラフィ装置、放射システム、デバイス製造方法およびデブリ軽減方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2011-541241 出願人：エーエスエムエルネザーランズビー.ブイ.
回転フォイルトラップ及び駆動装置を持つデブリ低減装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2010-548232 出願人：コーニンクレッカフィリップスエレクトロニクスエヌヴィ

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