特許
J-GLOBAL ID：201703017182669812

シート状の被検査体の欠陥検査装置、欠陥検査方法及び欠陥検査システム

発明者：
小林 寛昭

小林 寛昭 について

, 
日野 真

日野 真 について

, 
宮本 恵一

宮本 恵一 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (2件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-047457
公開番号（公開出願番号）：特開2017-021003
出願日： 2016年03月10日
公開日（公表日）： 2017年01月26日
要約：
【課題】欠陥検査の処理時間を短縮し、欠陥検査を従来よりも高速化することができる、シート状の被検査体の欠陥検査装置を提供する。【解決手段】撮影装置13から取り込んだシート状の被検査体11の撮影画像を用いて、シート状の被検査体11の検査を行う欠陥検査装置1が、前記シート状の被検査体11の撮影画像を所定の縦及び横方向画素数でブロックに分割し、各ブロック内の縦方向の画素値に基づき縦方向分散を、前記各ブロック内の横方向の画素値に基づき横方向分散をそれぞれ算出し、前記算出部で算出した前記縦及び横方向分散をシート状の被検査体11の欠陥判定の評価量として当該ブロックの欠陥候補判定を行い、欠陥候補判定されたブロックの長さ又は面積に基づきシート状の被検査体11の欠陥判定を行う。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
撮影装置から取り込んだシート状の被検査体の撮影画像を用いて、シート状の被検査体の検査を行うシート状の被検査体の欠陥検査装置であって、 前記シート状の被検査体の撮影画像を所定の縦及び横方向画素数でブロックに分割するブロック分割部と、 各ブロック内の縦方向の画素値に基づき縦方向分散を、前記各ブロック内の横方向の画素値に基づき横方向分散をそれぞれ算出する算出部と、 前記算出部で算出した前記縦及び横方向分散をシート状の被検査体の欠陥判定の評価量として当該ブロックの欠陥候補判定を行い、欠陥候補判定されたブロックの長さ又は面積に基づきシート状の被検査体の欠陥判定を行う欠陥判定部と、 を有するシート状の被検査体の欠陥検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/892 ,  G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G06T 1/00
FI (4件)：
G01N21/892 A ,  G01N21/88 J ,  G01B11/30 A ,  G06T1/00 300
Fターム (67件)：
2F065AA21 ,  2F065AA49 ,  2F065AA58 ,  2F065BB13 ,  2F065CC02 ,  2F065DD02 ,  2F065DD06 ,  2F065EE09 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065GG07 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065PP16 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ36 ,  2F065QQ42 ,  2F065QQ43 ,  2F065RR06 ,  2G051AA34 ,  2G051AA41 ,  2G051AB07 ,  2G051BB05 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051DA06 ,  2G051EA11 ,  2G051EA16 ,  2G051EA17 ,  2G051EA24 ,  2G051EB01 ,  2G051EC01 ,  2G051EC02 ,  2G051ED05 ,  2G051ED09 ,  5B057AA01 ,  5B057BA02 ,  5B057CA01 ,  5B057CA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CE11 ,  5B057CH20 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB05 ,  5B057DB06 ,  5B057DB09 ,  5B057DC03 ,  5B057DC04 ,  5B057DC14 ,  5B057DC22 ,  5B057DC25
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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