特許
J-GLOBAL ID：201703017645956336
遠隔から非接触でビーム発射および信号検知を行う受動読取ヘッドを有する光学式エンコーダ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
家入 健
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-141140
公開番号（公開出願番号）：特開2013-015518
特許番号：特許第6038502号
出願日： 2012年06月22日
公開日（公表日）： 2013年01月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 光学式エンコーダであって、
測定軸方向に沿った周期的格子パターンを有するスケール格子と、
スケール格子に近接して設けられた受動読取ヘッドと、
光源および検出部を有する遠隔随伴部と、備え、
スケール格子と受動読取ヘッドとの一方は測定軸に沿って移動可能になっており、
受動読取ヘッドは、スケール照明パス部と、測定光パス部と、を有し、
検出部は、遠隔レンズ部と、光検出機構部と、を有し、
遠隔随伴部は、受動読取ヘッドから離隔して設けられ、光源光を受動読取ヘッドに至る第1パスに沿って射出し、
受動読取ヘッドは、光源光が入射し、スケール照明パス部からスケール照明光をスケール格子に向けて出力し、
スケール格子は、スケール照明光を受光して干渉光を受動読取ヘッドに射出し、
干渉光の空間位相は測定位置に依存しており、
受動読取ヘッドの測定光パス部がスケール格子からの干渉光を受光して、測定光を射出するようになっており、
測定光は、遠隔レンズ部に至る第2パスに沿って複数の輝度領域を有しており、
測定光パス部は、複数の位相パスを有する位相信号部を有し、位相信号部に干渉光が入射して対応する各輝度領域を生成し、
位相パスは、対応する位相オフセットを有し、各輝度領域の輝度が、入射してくる干渉光の空間位相と、対応する位相パスの位相オフセットと、に相関するようになっており、
遠隔レンズ部は、測定光が入射し、複数の各輝度領域の像を光検出機構部に提供し、
光検出機構部は、撮像された複数の各輝度領域の輝度を検知し、検知した輝度に基づいて測定位置を示す信号を出力する
ことを特徴とする光学式エンコーダ。
IPC (2件)：
G01D 5/347 ( 200 6.01)
, G01D 5/38 ( 200 6.01)
G01D 5/347 110 U
, G01D 5/38 A
, G01D 5/347 110 E
